高精度油雾分离,实现洁净供气:采用过滤器+油雾分离器+减压阀串联,油雾分离器过滤精度0.3μm,出口残油浓度≤0.1mg/m³,适合对油雾严格限制的洁净环境(如半导体、生物医药)
三级渐进净化,气源品质达ISO8573-1 Class 3:先滤除颗粒水分,再凝聚分离悬浮油雾与亚微米粉尘,最后精密稳压,为气浮轴承、精密测量设备提供超净气源
模块化快拆结构,维护成本低:各单元卡扣连接,油雾分离器滤芯使用寿命长,杯体带防护罩,支持在线更换滤芯,减少停机时间















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